超快激光器鉆孔新紀錄 每秒鉆孔12000個
發布人:新特光電 時間:2019-05-10 關注:

超快激光材料加工技術的創新,可促進超快激光工藝在消費電子等工業領域的應用。目前行業就擁有了眾多100W以上的超快激光器,可極大地擴展許多工藝流程。

但是當前所面臨的挑戰是開發新的光束引導和工藝概念,以在工件表面上實現大功能輸出。目前主要限制的是工藝技術:具有高重復率的激光系統需要速度高達1000 m / s的掃描儀,而具有高脈沖能量的激光系統則需要新的波束分裂和成形概念來實現脈沖能量的分配。

多波束概念

更好利用脈沖能量的一個選擇是多波束概念腾龙彩票网址,涉及了將激光束分成許多個子束波。自2012年以來,弗勞恩霍夫激光技術研究所ILT就有一支團隊一直致力于該技術(多波束)的研究。從那時起,專家們已經學會了如何使用衍射光學元件(DOE)在微米和納米結構中有針對性地應用200多個子束波,從而在亞微米范圍內獲得精確的結果。

對于該DOE腾龙彩票网址,他們使用濕化學法以極高的精度蝕刻到玻璃中的結構化表面。因此腾龙彩票网址,DOE的靜態光束分布比基于液晶調制器的動態波束成形方法更加精確和耐用。

為了有效進行材料處理,激光束通過DOE轉換成具有許多平行子波束的束矩陣。使用掃描儀系統和f-theta光學系統,可以將平行小光束聚焦在工件上腾龙彩票网址,并且可以沿著所有可能的路徑在工件上同時移動。

精密孔鉆孔速度可達每秒12,000個

在厚度為10到50μm的金屬膜上鉆孔時腾龙彩票网址,多波束技術證明了它的價值。諸如蝕刻等傳統方法需要準備工作和返工,激光鉆孔則不再需要這些流程。多波束技術適用于周期性結構,并且需要平滑、平坦的表面。

在微鉆孔流程中,弗勞恩霍夫激光技術研究所的團隊實現了極高的精度。通過新的多波束系統,亞琛的專家能夠實現直徑小于1微米的精密孔。而孔之間的間距可以減小到幾微米腾龙彩票网址。為了提高吞吐量腾龙彩票网址,他們使用了可生成200多個子波束的DOE。通過這種方式,他們每秒可處理超過12,000個孔腾龙彩票网址,每個孔的出口直徑小于1微米。

新特光電代理的這款cOPATM是工作在1微米波長范圍的MHz重復率超短脈沖的獨特3光束源。是細胞組織的三維多模成像顯微的4波混合實驗的理想光源。3光束可同步至最低10飛秒腾龙彩票网址,其中兩光束可獨立調節。當超過100nJ/脈沖,cOPATM提供足夠的能量來執行多模光譜顯微剝離樣品組織。

cOPATM由2個由2個同步光學參量放大器 (OPAs)組成腾龙彩票网址,集成在一個外殼內,用我公司MHz重復頻率的光纖 振蕩器/放大器泵浦腾龙彩票网址。各個OPA可獨立調諧,在信號范圍內從700調節到950nm和在空閑范圍內從1130調節到1300nm。殘留的>1μJ的1030nm泵送光源從另外的輸出端口獲得,包括電子調節的電動驅動器??捎貌ㄩL擴展選項提供從1125nm 到1950nm的調節能力。

特點

  • 全二極管直接泵浦
  • 無論在振蕩器還是放大器階段都無須中間激光泵浦, 從而提升可靠性和性能腾龙彩票网址,也降低了成本
  • 全固態結構
  • 整個光學系統只在一個外殼里腾龙彩票网址,減少漂移
  • 通過觸屏控制器操縱主要功能   
  • 通過Apple iPhone/iPod App1進行監控和遙控操作
  • 全系統包括非線性晶體都享有1年保證    

規格

  • 調整范圍: 700-950nm (信號) 1130-1300nm (空閑) (>100nJ/脈沖在整個信號范圍)
  • 脈沖能量: >100nJ (信號) >80nJ在峰值(空閑) (整個調節范圍內)
  • 帶寬: <150cm-1 (高功率輸出有200cm-1到 250cm-1)
  • 重復率: 1MHz
  • 壓縮能力: <1.5 x 變換極限
  • 脈沖能量雜訊: 在f>2Hz 時 <1%rms

該研究團隊目前的目標是進一步提高鉆孔速度而不影響鉆孔質量。在不久的將來,鉆孔速度預計可達每秒20,000個腾龙彩票网址。

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